Deizm Latince’de “Tanrı” anlamına gelen deus kelimesinden türetilmiş olup Grekçe’de yine “Tanrı” anlamındaki theostan gelen teizm terimiyle aynı sözlük anlamına sahiptir. Ancak XVI. yüzyıldan itibaren hıristiyan dünyasında başlayan felsefî ve teolojik tartışmalarla birlikte teizm terimi Ortodoks inançları savunan kesim için, deizm ise geleneksel inançlardan sapan düşünürler için kullanılmaya başlanmıştır. Deizm kelimesinin ilk kullanılışlarından birine, Calvinci bir ilâhiyatçı olan Pierre Viret’nin Instruction chrestienne (Cenova 1564) adlı eserinde rastlanmaktadır. Viret bu eserinde, kendilerini ateistlerden ayırmak için deist ismini alan bir grup filozof ve edipten bahsetmiş, kimliklerini vermediği bu kişileri, Allah’a ve O’nun âlemi yarattığına inanmakla birlikte Îsâ Mesîh’i ve Hıristiyanlık doktrinlerini inkâr eden ateistler olarak suçlamıştır. Pierre Bayle tarafından hazırlanan Dictionnaire historique et critique (1697; İng. trc. 1710) adlı eserin “Viret” maddesinde onun deizmi yorumu vurgulanmış ve terim bu şekilde yaygınlaşma imkânı bulmuştur. Kelimenin az bilinen daha önceki bir kullanımına da Burton’un Anatomy of Melancholy (1621) adlı eserinde rastlanmakta, bu eserde ateistlerle aynı kategoride değerlendirilen deistlerden söz edilmektedir.
Öfkeli reddiyelerle önceleri ateizm ile özdeşleştirilen deizmin günümüzde kazandığı anlamı ile tarifi, Dryden’in 1682 tarihli Religio Laici adlı şiirine yazdığı sunuş ile Samuel Johnson’un 1755’te neşrettiği Dictionary’de görülmektedir. Bu metinlerde deizmin, herhangi bir vahyedilmiş dine bağlı olmaksızın Tanrı’nın varlığını kabul etmek, bununla birlikte O’nun ilim ve irade gibi sıfatlarını reddetmek, böyle bir varlığın âlemde tesirleri gözlenen veya tezahür eden hikmet ve inâyetinin bulunmadığına inanmak, âhireti inkâr, hususi bir dine ait -Tanrı’nın varlığı dışındaki- bütün itikad esaslarını reddetmek anlamına geldiği belirtilmiştir.
Deizmin Avrupa’da en çok yaygın olduğu ülke İngiltere idi. İngiliz deizminin babası olarak kabul edilen Cherburyli Lord Herbert (ö. 1648), Tanrı’ya ve âhiret hayatına inanmakla birlikte kutsal metinlerin doğruluğu konusunda ciddi kuşkular beslemiş, din adamlığı kurumunu şiddetle eleştirmiş, ayrıca evrensel gerçekleri kavramaya aklın yeteceğini savunmuştur. Onun takipçisi Charles Blount (ö. 1693), bir deist olduğunu açıkça beyan eden ilk düşünürdür ve intihar ettikten sonra yayımlanan Summary Account of the Deist’s Religion (1693) adlı eseri deist fikirlerin yayılmasında hayli etkili olmuştur. Daha sonra John Toland (ö. 1722) Christianity Not Mysterious (1696) ve Matthew Tindal (ö. 1733), “deistlerin mukaddes kitabı” olarak anılan Christianity as Old as the Creation (1730) adlı eserinde deist fikirleri açmışlar ve yaygınlaştırmışlardır. Bunlarda ve devamı olan eserlerde vurgulanan ve az çok farklılıklar gösteren çeşitli deist tavırlar arasında, mûcizenin inkârına varan bir aklîleştirme çabasıyla Hıristiyanlığı tabii din anlayışına yaklaştırma, kutsal metinlerin doğruluğu konusunda ciddi endişe ve yoğun eleştiriler, din adamlarının ruhanî otoritesinin reddi, aklın deney öncesi yapısı ile Tanrı fikrine ulaşabileceği, varlığını ispat edebileceği ve kurtuluşu sağlayan ahlâk kaidelerini koyabileceği iddiası en tipik olanlarıdır. Ayrıca “hıristiyan deistler” olarak anılan William Wollaston (ö. 1724), Thomas Woolston (ö. 1731), Thomas Chubb (ö. 1746) ve Thomas Morgan (ö. 1743) gibi kişiler, Hıristiyanlığa inanmakla birlikte aklın da aynı gerçeklere ulaşabileceği, bir tabii din kurabileceği ve nihayet Hıristiyanlık ile akıl arasında hiçbir çatışma olmadığı şeklinde daha ılımlı tezler ileri sürmüşlerdir. Bu yönüyle deist akımı, Hıristiyanlığın akla aykırı ve hurafî olduğu düşünülen unsurlardan arındırılması istikametindeki bir dinî eleştiri hareketi olarak nitelendirilebilir. Bu akım içinden, inancın temelinin tarih boyunca tahrifata uğramış kutsal metinler değil akıl olması gerektiği tezi ortaya atılmış, bu metinleri yorumlama yetkisine sahip din adamları hiyerarşisi reddedilerek aklın herkeste ortak olan evrensel bir ölçü olduğu ve bu ölçü ile gerçek Hıristiyanlığın bulunabileceği iddia edilmiştir.
Kutsal metinleri şaşmaz bir kılavuz olarak gören Newton’un ortaya koyduğu yeni fizik ve onun pekiştirdiği tabiat kanunu fikrinin İngiltere’de deizm lehine sonuçlar doğurduğu söylenemez. Tam tersine yeni fizik Hıristiyanlığı koruyan bir siper olarak düşünülmüş ve deist çevrelerce heyecanla karşılanmıştır. Halbuki aynı durumu Kıta Avrupası, özellikle Fransa için söylemek güçtür. Fransız deistleri içindeki en önemli ve tanınmı